Trelleborg Sealing Solutions zaprezentował dwa nowe dodatki do swojej oferty materiałów Isolast PureFab FFKM: JPF40 i JPF22.
Pierwszy dodatek, Isolast PureFab JPF40, jest wysokotemperaturowym perfluoroelastomerem (FFKM) opracowanym dla wymagających zastosowań i procesów termicznych, w tym szybkiej obróbki termicznej (RTP), osadzania warstw atomowych (ALD) i utleniania.
Materiał ten według Trelleborg oferuje niezrównaną płynność kompresji w temperaturach roboczych od +200 °C do +300 °C. Zapewnia to spójność uszczelnienia w wymagających procesach, wytrzymując szczytowe temperatury aplikacji powyżej +325 °C, co jest najwyższą zdolnością temperaturową materiału elastomerowego.
Według firmy drugi dodatek o nazwie Isolast PureFab JPF22 jest doskonałym uniwersalnym uszczelnieniem FFKM, odpowiednim dla szerokiego zakresu zastosowań w półprzewodnikach. Materiał oferuje doskonałą odporność na mokre chemikalia procesowe i parę wodną, a także na prekursory ALD na bazie amin.
– Przy ekstremalnych temperaturach i coraz bardziej agresywnych prekursorach chemicznych stosowanych w środowiskach półprzewodnikowych, niezbędne są niezawodne rozwiązania uszczelniające, aby zapobiec przedwczesnej awarii – powiedział Chris Busby, Dyrektor Działu Półprzewodników w Trelleborg Sealing Solutions.
